光学系性能評価用プレート:ゲージング・プレート
高分解能化にともない測定器の分解能をどうやって確かめますか?
カタログの数値を本当に信じますか?
干渉計、顕微鏡・・・高開口数の光学系の性能評価/確認用としてゲージング・プレートをご用意しました。
*すべてのプレートに実測データが添付されます。
仕 様
型 番 : GP200/500P100
4種類のセットにてご用意しております。
種 類 | 段 差 | サンプル測定データ | 材 質 | 外 形 |
GP200![]() |
200nm | ![]() |
ガラス (t=2mm) |
φ40mm T=3.5mm |
GP300![]() |
300nm | ![]() |
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GP400![]() |
400nm | ![]() |
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GP500![]() |
500nm | ![]() |
☆被検レンズでゲージングプレートを見たとき、A部とB部のピントが出る位置がズレていれば分解能が出ていることとなります。
